Влияние водорода на свойства слоистых структур на основе кремния и арсенида галлия при низкотемпературной ВЧ-плазменной обработке: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10) / АН Украины, Ин-т полупроводников
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Наумовец, Г. А. |
| Опубликовано: | Киев , 1992 |
| Физические характеристики: |
14 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||