Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем: (05.11.13): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук / Ташк. политехн. ин-т им. Абу Райхана Беруни
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Мухамедханов, У. Т. |
| Опубликовано: | Ташкент , 1989 |
| Физические характеристики: |
22 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr16358180000 | ||
| 005 | 20070412163946.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [90-3928а] |
| 100 | # | # | $a 20070412d1989 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UZ |
| 200 | 1 | # | $a Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем $e (05.11.13) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $f Ташк. политехн. ин-т им. Абу Райхана Беруни |
| 210 | # | # | $a Ташкент $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 22 с. $c ил. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 20-22 (15 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.11.13 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Мухамедханов $b У. Т. $g Улугбек Тургудович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070412 $g psbo |