Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем: (05.11.13): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук / Ташк. политехн. ин-т им. Абу Райхана Беруни
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Мухамедханов, У. Т. |
| Опубликовано: | Ташкент , 1989 |
| Физические характеристики: |
22 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||