
Разработка и исследование инерционных преобразующих механизмов поступательного движения для вакуумного технологического оборудования производства изделий электронной техники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.07) / Моск. ин-т электронного машиностроения
Saved in:
Format: | |
---|---|
Main Author: | Морозов, П. А. |
Published: | М. , 1988 |
Physical Description: |
22 с. : рис.
|
Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|