Разработка и исследование инерционных преобразующих механизмов поступательного движения для вакуумного технологического оборудования производства изделий электронной техники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.07) / Моск. ин-т электронного машиностроения
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Морозов, П. А. |
Опубликовано: | М. , 1988 |
Физические характеристики: |
22 с. : рис.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|