Исследование и разработка устройства группового контроля параметров технологических процессов в производстве интегральных схем: (На примере контроля процес са эпитаксии). Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.12.13)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Морозов, В. М. |
| Опубликовано: | М. , 1979 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||