Исследование и разработка устройства группового контроля параметров технологических процессов в производстве интегральных схем: (На примере контроля процес са эпитаксии). Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.12.13)
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Морозов, В. М. |
| Published: | М. , 1979 |
| Physical Description: |
17 с.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||