Исследование и разработка устройства группового контроля параметров технологических процессов в производстве интегральных схем: (На примере контроля процес са эпитаксии). Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.12.13)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Морозов, В. М. |
| Опубликовано: | М. , 1979 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr16164440000 | ||
| 005 | 20070411173437.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070411d1979 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование и разработка устройства группового контроля параметров технологических процессов в производстве интегральных схем $e (На примере контроля процес са эпитаксии). Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $e (05.12.13) |
| 210 | # | # | $a М. $d 1979 |
| 215 | # | # | $a 17 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Моск. авиац. технол. ин-т им. К. Э. Циолковского. Библиогр.: с. 17 (9 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.12.13 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Морозов $b В. М. $g Владимир Михайлович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070411 $g psbo |