Получение, изучение и применение пористого кремния в технологии СБИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06) / Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Мороз, Г. К. |
| Опубликовано: | Л. , 1989 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr16149740000 | ||
| 005 | 20070411125627.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070411d1989 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Получение, изучение и применение пористого кремния в технологии СБИС $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.06) $f Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина) |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1989 |
| 215 | # | # | $a 16 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 15-16 (12 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.06 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Мороз $b Г. К. $g Геннадий Кириллович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070411 $g psbo |