Получение, изучение и применение пористого кремния в технологии СБИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06) / Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина)
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Мороз, Г. К. |
Опубликовано: | Л. , 1989 |
Физические характеристики: |
16 с.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|