Исследование физических свойств пленок двуокиси ванадия, полученных катодным реактивным распылением, и возможности их применения в опто- и микроэлектронике: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (01.04.10)
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Мокроусов, В. В. |
Опубликовано: | М. , 1978 |
Физические характеристики: |
15 с.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|