Применение масс-спектрометров для исследования процессов реактивного ионно-лучевого травления кремния и пленок диоксида кремния: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06) / Моск. хим.-технол. ин-т им. Д. И. Менделеева
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Митрофанов, Е. А. |
| Опубликовано: | М. , 1992 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||