Исследование особенностей генерационных процессов в кремниевых МДП-структурах с окислами редкоземельных элементов (ОРЗЭ) в качестве диэлектрика: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10)
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Митин, В. И. |
Опубликовано: | Горький , 1983 |
Физические характеристики: |
15 с.
|
Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|