Теоретические основы разработки функциональных устройств и систем и создание комплекса вакуумного оборудования для производства тонкопленочных структур интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.27.07) / Моск. ин-т электрон. машиностроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Минайчев, В. Е. |
| Опубликовано: | М. , 1984 |
| Физические характеристики: |
44 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||