|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr15763470000 |
| 005 |
20070405165453.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 12 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [76-17560]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070405d1975 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Ионная имплантация
$f Ю. В. Милютин, Н. С. Соловьев
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c ЦНИИПИ
$d 1975
|
| 215 |
# |
# |
$a 24 с.
$d 20 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Обзорная информация.: Важнейшие изобрет. года: Электроника
$f Центр. науч.-исслед. ин-т пат. информации и техн.-экон. исследований
|
| 300 |
# |
# |
$a На обл. авт. не указаны
|
| 345 |
# |
# |
$9 861 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Полупроводники - Легирование ионное
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.315.592.002
|
| 700 |
# |
1 |
$a Милютин
$b Ю. В.
$g Юрий Викторович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Соловьев
$b Н. С.
$g Николай Сергеевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070405
$g psbo
|
