Ионная имплантация / Ю. В. Милютин, Н. С. Соловьев
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Милютин, Ю. В. |
| Опубликовано: | М. : ЦНИИПИ , 1975 |
| Физические характеристики: |
24 с. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзорная информация.: Важнейшие изобрет. года: Электроника
|
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||