Исследование структур «кремний на сапфире» мембранного типа и разработка на их основе чувствительных элементов высокостабильных преобразователей давления: (05.11.15): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Мильман, С. И. |
| Опубликовано: | М. , 1979 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||