
Методы изоляции активных элементов полупроводниковых интегральных схем: Учеб. пособие по курсу "Технология полупроводниковых интегральных схем" / Л. И. Матына, Ю. Д. Чистяков, А. А. Щербинин
Enregistré dans:
Format: | |
---|---|
Auteur principal: | Матына, Л. И. |
Publié: | М. , 1987 |
Description matérielle: |
55 с. : рис.
|
Langue: | Русский |
Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|