Методы изоляции активных элементов полупроводниковых интегральных схем: Учеб. пособие по курсу "Технология полупроводниковых интегральных схем" / Л. И. Матына, Ю. Д. Чистяков, А. А. Щербинин
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Матына, Л. И. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
55 с. : рис.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||