|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr15412040000 |
| 005 |
20200627133053.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 17 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [87-15364]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070402d1987 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Методы изоляции активных элементов полупроводниковых интегральных схем
$e Учеб. пособие по курсу "Технология полупроводниковых интегральных схем"
$f Л. И. Матына, Ю. Д. Чистяков, А. А. Щербинин
$g Моск. ин-т электрон. техники
$g Под ред. Ю. Д. Чистякова
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1987
|
| 215 |
# |
# |
$a 55 с.
$c рис.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 53-54 (19 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 200 экз.
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1825454
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11387
$a ИЗОЛЯЦИЯ (техн.)
$2 DVNLB
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77(075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar13242631
$a Матына
$b Л. И.
$g Лариса Ивановна
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070402
$g psbo
|
