Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения: (05.27.01): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / НИИ физ. пробл. им. Ф. В. Лукина
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Мануйлов, В. В. |
| Опубликовано: | М. , 1991 |
| Физические характеристики: |
21 с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr15159950000 | ||
| 005 | 20070402123451.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [91-11345а] |
| 100 | # | # | $a 20070402d1991 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения $e (05.27.01) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $f НИИ физ. пробл. им. Ф. В. Лукина |
| 210 | # | # | $a М. $d 1991 |
| 215 | # | # | $a 21 с. $c граф. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 20-21 (11 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Мануйлов $b В. В. $g Вадим Викторович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070402 $g psbo |