Моделирование процессов рентгенолитографии интегральных схем с применением синхротронного излучения: (05.27.01): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / НИИ физ. пробл. им. Ф. В. Лукина
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Мануйлов, В. В. |
| Опубликовано: | М. , 1991 |
| Физические характеристики: |
21 с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||