Термическое окисление кремния в электрическом поле: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук: (02.00.01)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Малевская, Л. А. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1984 |
| Физические характеристики: |
24 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||