Очистка поверхности кремниевых пластин от органических и неорганических примесей: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук: (02.00.04) / Киев. политехн. ин-т им. 50-летия Великой Октябрьской социалистической революции
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Максина, Т. Я. |
| Опубликовано: | Киев , 1990 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr14970960000 | ||
| 005 | 20070328162833.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070328d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Очистка поверхности кремниевых пластин от органических и неорганических примесей $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук $e (02.00.04) $f Киев. политехн. ин-т им. 50-летия Великой Октябрьской социалистической революции |
| 210 | # | # | $a Киев $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 16 с. |
| 686 | # | # | $a 02.00.04 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Максина $b Т. Я. $g Татьяна Яковлевна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070328 $g psbo |