Очистка поверхности кремниевых пластин от органических и неорганических примесей: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук: (02.00.04) / Киев. политехн. ин-т им. 50-летия Великой Октябрьской социалистической революции
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Максина, Т. Я. |
| Опубликовано: | Киев , 1990 |
| Физические характеристики: |
16 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||