Исследование и разработка технологических процессов изготовления микронных и субмикронных элементов матриц СВЧ устройств на арсениде галлия: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.13)

Сохранено в:
Шифр документа: АЯ473065СК,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Максимова, Л. И.
Опубликовано: М. , 1983
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
00000nam0a22000001ia4500
001 BY-NLB-rr14964310000
005 20070328180754.0
100 # # $a 20070328d1983 y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
200 1 # $a Исследование и разработка технологических процессов изготовления микронных и субмикронных элементов матриц СВЧ устройств на арсениде галлия  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук  $e (05.12.13) 
210 # # $a М.  $d 1983 
215 # # $a 22 с. 
300 # # $a В надзаг.: Моск. авиац. гехнол. ин-т им. К. Э. Циолковского. Библиогр.: с. 20-22 (27 назв.). Для служ. пользования 
675 # # $a 621.315.592.2:546.682'19 
686 # # $a 05.12.13  $2 oksvnk 
700 # 1 $a Максимова  $b Л. И.  $g Людмила Ивановна 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20070328  $g psbo