Исследование и разработка технологических процессов изготовления микронных и субмикронных элементов матриц СВЧ устройств на арсениде галлия: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.13)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Максимова, Л. И. |
| Опубликовано: | М. , 1983 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||