|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr14815870000 |
| 005 |
20110104121832.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 20 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [83-90671]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070327d1983 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Технология полупроводниковых приборов и интегральных схем
$e Разд. Фотолитография окисление, технология интегр. схем : Учеб. пособие для студентов спец. 0629
$f Под ред. В. А. Ладыгина
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1983
|
| 215 |
# |
# |
$a 116 с.
$c черт.
|
| 300 |
# |
# |
$a В надзаг.: Моск. ин-т стади и сплавов. Каф. полупроводниковой электроники и физики полупроводников
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 115 (5 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 150 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Фотолитография
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Учебники
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.002+621.382.049.77.002](075.8)
|
| 700 |
# |
1 |
$a Мадоян
$b С. Г.
$g Сусанна Гукасовна
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070327
$g psbo
|
