Технология полупроводниковых приборов и интегральных схем: Разд. Фотолитография окисление, технология интегр. схем : Учеб. пособие для студентов спец. 0629 / Под ред. В. А. Ладыгина
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Мадоян, С. Г. |
Опубликовано: | М. , 1983 |
Физические характеристики: |
116 с. : черт.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|