Экспериментально-статистические метода обеспечения параметрической надежности при проектировании и опытной обработке технологического оборудования для производства изделий микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.02.12) / Моск. ин-т электронной техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Летягина, В. П. |
| Опубликовано: | М. , 1976 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr14268160000 | ||
| 005 | 20070320180705.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070320d1976 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Экспериментально-статистические метода обеспечения параметрической надежности при проектировании и опытной обработке технологического оборудования для производства изделий микроэлектроники $e Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $e (05.02.12) $f Моск. ин-т электронной техники |
| 210 | # | # | $a М. $d 1976 |
| 215 | # | # | $a 23 с. |
| 300 | # | # | $a Список работ авт.: с. 22-23 (9 назв.). Для служебного пользования |
| 686 | # | # | $a 05.02.12 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Летягина $b В. П. |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070320 $g psbo |