Экспериментально-статистические метода обеспечения параметрической надежности при проектировании и опытной обработке технологического оборудования для производства изделий микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук: (05.02.12) / Моск. ин-т электронной техники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Летягина, В. П. |
| Опубликовано: | М. , 1976 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||