Взаимодействие наносекундных потоков энергии из высокотемпературной плазмы с материалами микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: (01.04.10) / АН СССР, Физико-технолог. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Леонов, Ю. С. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
30 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr14215150000 | ||
| 005 | 20070320180141.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070320d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Взаимодействие наносекундных потоков энергии из высокотемпературной плазмы с материалами микроэлектроники $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук $e (01.04.10) $f АН СССР, Физико-технолог. ин-т |
| 210 | # | # | $a М. $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 30 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 30 (8 назв.) |
| 686 | # | # | $a 01.04.10 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Леонов $b Ю. С. $g Юрий Сергеевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070320 $g psbo |