Взаимодействие наносекундных потоков энергии из высокотемпературной плазмы с материалами микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: (01.04.10) / АН СССР, Физико-технолог. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Леонов, Ю. С. |
| Опубликовано: | М. , 1990 |
| Физические характеристики: |
30 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||