|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr13974030000 |
| 005 |
20220311093545.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20070313d1986 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a UA
|
| 200 |
1 |
# |
$a Микроструктура, фазовые превращения и дефекты в пленках SiO2, Si3N4, Al2O3 на кремнии
$e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e (05.27.06)
$f АН УССР, Ин-т полупроводников
|
| 210 |
# |
# |
$a Киев
$d 1986
|
| 215 |
# |
# |
$a 15 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 13-15 (18 назв.). Для служеб. пользования
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$a Латута
$b В. З.
$g Валерий Зиновьевич
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070313
$g psbo
|
