Микроструктура, фазовые превращения и дефекты в пленках SiO2, Si3N4, Al2O3 на кремнии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.06) / АН УССР, Ин-т полупроводников
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Латута, В. З. |
| Опубликовано: | Киев , 1986 |
| Физические характеристики: |
15 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||