Кинетика и механизм термического окисления кремния на этапе формирования границы Si-SiO₂: (02.00.04): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук / Воронеж. гос. ун-т им. Ленинского комсомола
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Лаврушина, С. С. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1978 |
| Физические характеристики: |
20 с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr13841670000 | ||
| 005 | 20070313142938.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [78-15041а] |
| 100 | # | # | $a 20070313d1978 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Кинетика и механизм термического окисления кремния на этапе формирования границы Si-SiO₂ $e (02.00.04) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук $f Воронеж. гос. ун-т им. Ленинского комсомола |
| 210 | # | # | $a Воронеж $d 1978 |
| 215 | # | # | $a 20 с. $c граф. |
| 300 | # | # | $a Список работ авт.: с. 19-20 (7 назв.) |
| 686 | # | # | $a 02.00.04 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Лаврушина $b С. С. $g Светлана Семеновна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070313 $g psbo |