Кинетика и механизм термического окисления кремния на этапе формирования границы Si-SiO₂: (02.00.04): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук / Воронеж. гос. ун-т им. Ленинского комсомола
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Лаврушина, С. С. |
| Опубликовано: | Воронеж , 1978 |
| Физические характеристики: |
20 с. : граф.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||