Лазерное геттерирование кремниевых биполярных структур интегральных микросхем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Львовский политехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кучмий, Г. Л. |
| Опубликовано: | Львов , 1992 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr13778380000 | ||
| 005 | 20070313145232.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070313d1992 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Лазерное геттерирование кремниевых биполярных структур интегральных микросхем $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.01) $f Львовский политехн. ин-т |
| 210 | # | # | $a Львов $d 1992 |
| 215 | # | # | $a 20 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 19-20 (13 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Кучмий $b Г. Л. $g Галина Любомировна |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070313 $g psbo |