Лазерное геттерирование кремниевых биполярных структур интегральных микросхем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Львовский политехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кучмий, Г. Л. |
| Опубликовано: | Львов , 1992 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||