Разработка ионно-стимулируемых галогенидных процессов получения поверхностных слоев полупроводников, металлов и диэлектриков в тлеющем разряде: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.17.16) / Моск. ин-т стали и сплавов
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Кузнецов, Г. Д. |
| Publié: | М. , 1983 |
| Description matérielle: |
50 с.
|
| Langue: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||