Разработка методов и специализированных установок плазмохимического травления микроструктур, чувствительных к радиационному воздействию: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: (05.27.01) / Моск. ин-т электронной техн.
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Кузнецов, В. И. |
| Апублікавана: | М. , 1992 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
50 с.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||