Исследование разупорядочения кремния при ионной имплантации методом электронно-индуцированной проводимости: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.10) / АН СССР. Физич. ин-т им. П. Н. Лебедева
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Кудышев, А. Н. |
| Апублікавана: | М. , 1990 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
21 с.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||