Макрокинетика химического осаждения карбида кремния из газовой фазы: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (01.04.17) / АН СССР, Ин-т хим. физики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кудряшов, В. А. |
| Опубликовано: | Черноголовка , 1989 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||