|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr13208760000 |
| 005 |
20070301144117.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 8 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [84-28644]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20070301d1983 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Комплекс аппаратуры контроля и технологических испытаний в производстве полупроводниковой памяти
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c ИТМИВТ
$d 1983
|
| 215 |
# |
# |
$a 17 с.
$c граф.
$d 22 см
|
| 225 |
2 |
# |
$a Препринт
$f Ин-т точ. механики и вычисл. техники им. С. А. Лебедева АН СССР
$v № 19
|
| 345 |
# |
# |
$9 300 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Запоминающие устройства на интегральных микросхемах - Испытание
|
| 675 |
# |
# |
$a 681.327.67.001.4
|
| 700 |
# |
1 |
$a Кристовский
$b Г. В.
$g Гунтис Викторович
|
| 701 |
# |
1 |
$a Шашко
$b В. Д.
$g Владимир Данилович
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20070301
$g psbo
|
