Комплекс аппаратуры контроля и технологических испытаний в производстве полупроводниковой памяти
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кристовский, Г. В. |
| Опубликовано: | М. : ИТМИВТ , 1983 |
| Физические характеристики: |
17 с. : граф. ; 22 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препринт
№ 19 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||