Влияние имплантации галогенов на электрофизические свойства и процессы в монокристаллическом кремнии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: (05.27.01) / Рос. АН, Ин-т пробл. технологии микроэлектроники и особо чистых материалов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Краснобаев, Л. Я. |
| Опубликовано: | Черноголовка , 1992 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||