Технология многослойных структур микроэлектроники: Учеб. пособие для практических занятий для студентов спец. 20.02 / Моск. ин-т стали и сплавов, Каф. физ. химии и технологии полупроводниковых материалов и особо чистых металлов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Крапухин, В. В. |
| Опубликовано: | М. , 1989 |
| Физические характеристики: |
114 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||