Исследование физико-химических механизмов формирования изображения прямым фототравлением вакуумным ультрафиолетовым излучением в субмикронной литографии: (05.27.01): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН СССР, Ин-т общ. физики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Крамаренко, А. С. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
26 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr13076010000 | ||
| 005 | 20070227161659.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [87-2266а] |
| 100 | # | # | $a 20070227d1987 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование физико-химических механизмов формирования изображения прямым фототравлением вакуумным ультрафиолетовым излучением в субмикронной литографии $e (05.27.01) $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук $f АН СССР, Ин-т общ. физики |
| 210 | # | # | $a М. $d 1987 |
| 215 | # | # | $a 26 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 24-26 (12 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Крамаренко $b А. С. $g Алексей Сергеевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070227 $g psbo |