Исследование физико-химических механизмов формирования изображения прямым фототравлением вакуумным ультрафиолетовым излучением в субмикронной литографии: (05.27.01): Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук / АН СССР, Ин-т общ. физики
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Крамаренко, А. С. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
26 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||