Исследование процессов плотного и пористого анодирования пленок алюминия, легированных переходными металлами, и разработка на их основе двухуровневой металлизации полупроводниковых интегральных микросхем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Кравченко Владимир Михайлович
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Кравченко, В. М. |
| Publié: | Минск , 1980 |
| Description matérielle: |
24 с. : табл.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||